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マルチイオンビーム顕微鏡 ORION NanoFab

カールツァイス / カールツァイス
ID:K02899
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イオンビームにより分解能0.5nmを実現するイメージングと10nm以下の超微細加工を実現する唯一の機種

ZEISS ORION NanoFab

分解能0.5nmの超高解像度イメージング
FE-SEMよりも5～10倍の被写界深度の実現
ガリウム、ネオン、ヘリウムのイオンビームを搭載可能
ヘリウムイオンビームを使用して繊細な10nm構造の作成を実現

仕様

シリーズ ORION NanoFab
希望小売価格
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